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干泵(Dry Pump)种类
(文章分类:基础知识      文章来源:内部整理      添加时间:2013-08-01)

      干泵(Dry Pump)是一种不使用油作为工作介质、能够使得被抽除真空的容器获得洁净的真空环境的机械旋转式的真空泵。干泵腔内没有油或者其它工作介质,避免返流造成被抽容器的污染。在对抽除含有粉尘、水蒸气等物质时,干泵比油封泵更可靠且寿命长。

      基本分类如下:

      一、Screw式:Screw型是用Rotor进行气体容积输送式的Dry Pump。

      二、Roots式:往3叶Rotor和Casing的空间运送气体的容积移送式Dry Pump。

      三、Claw式:复数的爪型Rotor以轴平行排着、进行互相逆回转把气体移送的Dry Pump。

      四、Scroll式:利用渦型的Stage及Rotor的运动进行排气的真空Pump。

      五、Diaphragm式:利用Cylinder内的Diaphragm的往复运动进行排气的容积移送式真空Pump。

      六、Piston式:利用Cylinder内的Piston的往复运动进行气体的压缩、排气的容积移送式真空Pump。