产品知识


干泵应用范围
(文章分类:基础知识      文章来源:内部整理      添加时间:2013-08-01)

      干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:

      一、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

      二、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

      三、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

      四、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;

      五、用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。